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微纳米测量技术(清华大学微机电系统工程系列教材)
作者：王伯雄//陈非凡//董瑛
- 市场价：
￥24元 - 博库价：￥元
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- 立即节省：￥ 元
- ISBN：7302130639
- 出版社：清华大学
- 第1版 第1次印刷
内容提要
全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；
微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术中的光学方法，光学
测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌
、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声
和超声等典型物理量的测量技术应用。
本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。本书可作为高等院校微机电系统工程、测控、仪器、自动化、机电一体化等专业的本科生和研究生教材，也可作为工程技术人员的参考书。
基本信息
- 出版社：清华大学
- 作 者：王伯雄//陈非凡//董瑛
- 类 别：天文学地球科学 -> 天文学地球科学 -> 地球科学
- 开 本：16开
- ISBN：7302130639
- 页 数：223
- 出版日期：2006-08-01
- 第1版 第1次印刷